12月28日晚間，半導(dǎo)體企業(yè)中微公司公告，擬對睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司（下稱“上海睿勵”）進行增資，以現(xiàn)金方式投資1億元，認購上海睿勵新增注冊資本8333.33萬元，認購單價為1.2元/股（注冊資本）。上述交易完成后，上海睿勵注冊資本增加至428億元，公司持股比例為20.4467%。

公告顯示，上海睿勵成立于2005年6月27日，注冊資本約3.45億元，致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)，是國內(nèi)少數(shù)幾家進入國際領(lǐng)先的12英寸生產(chǎn)線的高端裝備企業(yè)之一，并且是國內(nèi)唯一進入某韓國領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)的國產(chǎn)集成電路設(shè)備企業(yè)。本次增資，上海睿勵的投前估值為4.1353億元人民幣。

上海睿勵主營的產(chǎn)品為光學(xué)膜厚測量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測設(shè)備，以及硅片厚3度及翹曲測量設(shè)備等。上海睿勵自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在65/55/40/28納米芯片生產(chǎn)線并在進行了14納米工藝驗證，在3D存儲芯片產(chǎn)線支持64層3DNAND芯片的生產(chǎn)，并正在驗證96層3DNAND芯片的測量性能。

上海睿勵應(yīng)用于LED藍寶石襯底圖形檢測的自動光學(xué)檢測設(shè)備，也已成功銷售到眾多國內(nèi)LEDPSS襯底和LED芯片生產(chǎn)線。

上海睿勵正在開發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測量設(shè)備以及應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)的缺陷檢測設(shè)備，進一步擴大可服務(wù)的市場規(guī)模。截止2020年11月30日，上海睿勵擁有專利87項，軟件著作權(quán)39項，注冊商標(biāo)8項，作品著作權(quán)1項及備案域名2項。

中微公司表示，本次投資上海睿勵將使公司能夠布局集成電路工藝檢測設(shè)備領(lǐng)域。此外，中微公司同上海睿勵的客戶和供應(yīng)商有高度重疊，通過本次投資，能進一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。本次投資構(gòu)成關(guān)聯(lián)交易，但未構(gòu)成重大資產(chǎn)重組。