12月28日晚間，半導(dǎo)體企業(yè)中微公司公告，擬對(duì)睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（下稱“上海睿勵(lì)”）進(jìn)行增資，以現(xiàn)金方式投資1億元，認(rèn)購(gòu)上海睿勵(lì)新增注冊(cè)資本8333.33萬元，認(rèn)購(gòu)單價(jià)為1.2元/股（注冊(cè)資本）。上述交易完成后，上海睿勵(lì)注冊(cè)資本增加至428億元，公司持股比例為20.4467%。

公告顯示，上海睿勵(lì)成立于2005年6月27日，注冊(cè)資本約3.45億元，致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測(cè)領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)，是國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家進(jìn)入國(guó)際領(lǐng)先的12英寸生產(chǎn)線的高端裝備企業(yè)之一，并且是國(guó)內(nèi)唯一進(jìn)入某韓國(guó)領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)的國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備企業(yè)。本次增資，上海睿勵(lì)的投前估值為4.1353億元人民幣。

上海睿勵(lì)主營(yíng)的產(chǎn)品為光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備，以及硅片厚3度及翹曲測(cè)量設(shè)備等。上海睿勵(lì)自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測(cè)量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在65/55/40/28納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行了14納米工藝驗(yàn)證，在3D存儲(chǔ)芯片產(chǎn)線支持64層3DNAND芯片的生產(chǎn)，并正在驗(yàn)證96層3DNAND芯片的測(cè)量性能。

上海睿勵(lì)應(yīng)用于LED藍(lán)寶石襯底圖形檢測(cè)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，也已成功銷售到眾多國(guó)內(nèi)LEDPSS襯底和LED芯片生產(chǎn)線。

上海睿勵(lì)正在開發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測(cè)量設(shè)備以及應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)的缺陷檢測(cè)設(shè)備，進(jìn)一步擴(kuò)大可服務(wù)的市場(chǎng)規(guī)模。截止2020年11月30日，上海睿勵(lì)擁有專利87項(xiàng)，軟件著作權(quán)39項(xiàng)，注冊(cè)商標(biāo)8項(xiàng)，作品著作權(quán)1項(xiàng)及備案域名2項(xiàng)。

中微公司表示，本次投資上海睿勵(lì)將使公司能夠布局集成電路工藝檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域。此外，中微公司同上海睿勵(lì)的客戶和供應(yīng)商有高度重疊，通過本次投資，能進(jìn)一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。本次投資構(gòu)成關(guān)聯(lián)交易，但未構(gòu)成重大資產(chǎn)重組。