至純科技2月7日晚間披露第四期股票期權與限制性股票激勵計劃（草案），擬授予激勵對象權益總計300萬份，占本激勵計劃草案公告日公司股本總額的0.94%，首次授予240萬份。

其中，擬授予激勵對象股票期權165萬份，首次授予132萬份；擬授予激勵對象限制性股票135萬股，首次授予108萬股。首次授予的激勵對象共計76人，授予的股票期權的行權價格為46.50元/股，限制性股票的授予價格為23.25元/股。

本次披露的激勵計劃中對于授予股票期權及限制性股票的行權期和解除限售期均設置了業績考核目標，分別為2022年凈利潤達到1.8億元、2023年凈利潤達到2.3億元、2024年凈利潤達到3.6億元。

公司年報顯示，至純科技2020年實現營業總收入14億元，同比增長41.6%；實現歸母凈利潤2.6億元，同比增長136.4%；每股收益為1.01元。2021年前三季度，公司實現凈利1.88億元，同比增長127.96%。

其中，“高純工藝系統”是公司營業收入的主要來源，其次為“光傳感及光器件”和“半導體設備”。