日前，2021數字中國創新大賽集成電路賽道暨首屆全國集成電路“創芯大賽”決賽圓滿結束。經過多輪的激烈角逐，東方晶源憑借電子束缺陷檢測設備在國內外近200個參賽項目中脫穎而出，斬獲此次大賽二等獎，展現出在集成電路良率管理領域的硬實力。

總決賽現場，來自北京、上海、深圳、西安4個賽區的前22個項目的代表們齊聚一堂進行路演和答辯。東方晶源電子束缺陷檢測產品是此次決賽中為數不多集軟件、硬件于一身的集成電路產業鏈上游設備。來自學術、產業、行業知名投資機構、產業孵化等多領域的評委均對該項目產生了濃厚的興趣，與東方晶源項目代表進行了深入的交流和溝通。經過一天的激烈比拼，東方晶源憑借尖端的技術實力、創新性的解決方案以及出色的產品性能指標贏得了評委組的高度認可，斬獲此次大賽二等獎。

東方晶源“六年磨一劍”，基于公司自有的電子束掃描核心技術，研發出了電子束晶圓缺陷檢測設備。該設備用于檢測半導體硅片在生產制造工藝環節中產生的物理缺陷和電性缺陷，通過缺陷定位和自動分類，用于改進工藝制程，屬于芯片制造過程中良率檢測和控制的關鍵環節。

由于電子束晶圓缺陷檢測設備要達到納米級的精度，相當于頭發絲的“萬分之一”，因此對其高速高精密機械平臺、高精度電子束掃描成像系統、圖形量測和缺陷檢測軟件等都提出了很高的要求。東方晶源在上述環節進行了大膽的技術創新，一舉突破數個國家“卡脖子”環節，填補了國內相關技術領域空白。最為重要的是，該設備首臺套已出機到國內頭部晶圓代工廠，獲得客戶高度好評，實現了產業化突破。

近年來，地緣政治中芯片相關技術和產品被當做角力的有效“武器”，芯片對各個國家的重要性上升到前所未有的高度。在芯片復雜的產業鏈當中，設備又是“卡脖子”之中的“卡脖子”部分。聚焦于集成電路良率管理的東方晶源正是致力于解決該方面“卡脖子”問題。除上述獲獎設備外，還自主研發了關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）、計算光刻產品（OPC）以及微電子設計與制造智能良率優化平臺（HPO），可以有效解決國內集成電路產業多個難點，是該領域正在冉冉升起的一顆新星。

2021數字中國創新大賽集成電路賽道決賽已經圓滿結束。本屆大賽作為專業賽事平臺，有助于深入挖掘集成電路產業創新創業人才、項目、技術和資本等產業資源，推動集成電路優秀人才和項目培育、發展，助力“芯”創業，創造“芯”奇跡。通過此次大賽涌現出了一些技術過硬的創新型企業，讓大家看到我國集成電路產業發展的強勁勢頭，相信未來可期。