- 產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈協(xié)作提升半導(dǎo)體競爭力，高頻科技超純水工藝突破推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展
- 2023年07月24日來源：北國網(wǎng)
提要：近年來,隨著信息技術(shù)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成為了國家經(jīng)濟發(fā)展的重要支柱之一。然而,要想在全球半導(dǎo)體市場中獲得持續(xù)性競爭優(yōu)勢,我國需要建立完善的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系,加強產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈協(xié)同,提升整體競爭力。
近年來,隨著信息技術(shù)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成為了國家經(jīng)濟發(fā)展的重要支柱之一。然而,要想在全球半導(dǎo)體市場中獲得持續(xù)性競爭優(yōu)勢,我國需要建立完善的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系,加強產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈協(xié)同,提升整體競爭力。
超純水作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán),在行業(yè)中發(fā)揮著不可忽視的作用。以高頻科技為代表的本土超純水企業(yè),一方面不斷加強技術(shù)研究和原始創(chuàng)新,實現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破,以創(chuàng)新驅(qū)動產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。另一方面加強全球產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的協(xié)作,提升資源整合能力,引領(lǐng)本土供應(yīng)鏈應(yīng)對產(chǎn)業(yè)變革。
超純水“守護”清洗工序,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈重要一環(huán)
對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言,高質(zhì)量的超純水是確保高效生產(chǎn)的基石之一。芯片清洗過程離不開超純水,超純水清洗可以讓芯片生產(chǎn)過程中的微量玷污,如灰塵、油脂、金屬離子等得到去除,從而保證芯片表面的純凈度和性能,提升芯片生產(chǎn)的良品率。對尖端圓晶廠而言,1%良品率的提升意味著上億美元的凈利潤。而如果水質(zhì)不達標,不僅難以滿足芯片清洗需求,水中的雜質(zhì)還可能會在芯片表面殘留而影響芯片的電子性能,從而降低芯片的質(zhì)量和良率。
隨著器件尺寸縮小、結(jié)構(gòu)復(fù)雜化,芯片對雜質(zhì)敏感度提升,清洗工序也愈加精細化。90nm 的芯片清洗工藝約 90 道,20nm 的清洗工藝則達到 215 道。隨著芯片進入 16nm 以及 7nm 以下,清洗工藝的道數(shù)將會加速增長。伴隨芯片邁向先進制程,對清洗所用超純水的指標提高,背后的制備工藝也越發(fā)復(fù)雜,本土超純水企業(yè)的工藝能力將面臨考驗。
高頻科技以先進超純水工藝,助推半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體競爭力提升
通過建立完善的超純水供應(yīng)體系,可以提高半導(dǎo)體制造的效率和質(zhì)量,降低生產(chǎn)成本,增強國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競爭力。作為立足于超純工藝能力的工業(yè)級技術(shù)服務(wù)商,高頻科技一直致力于為半導(dǎo)體高端制造等行業(yè)客戶,提供領(lǐng)先的超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備,協(xié)助半導(dǎo)體企業(yè)提升競爭力和可持續(xù)發(fā)展能力。
高頻科技基于多年研發(fā)創(chuàng)新和半導(dǎo)體水系統(tǒng)經(jīng)驗積累,目前已經(jīng)完全掌握了先進半導(dǎo)體制程需要使用的超純水生產(chǎn)的全部核心工藝,特別是在PPB級別的TOC,溶解氧去除,以及PPT級別的硼、硅等特殊物質(zhì)的去除方面有自己的成熟經(jīng)驗,所產(chǎn)超純水電導(dǎo)率無限接近 18.24MΩ 的理論極限值,其純度可達 99.9999999999%(PPT 級別——萬億分之一),為半導(dǎo)體良率和生產(chǎn)效率帶去保障,并不斷滿足行業(yè)日趨提升的用水需求。
此外,為滿足半導(dǎo)體企業(yè)提升工業(yè)用水效能,降本挖潛增效的需求,高頻科技依托自有優(yōu)秀半導(dǎo)體水系統(tǒng)專家,在確保超純水水質(zhì)純度穩(wěn)定達標的基礎(chǔ)之上,研發(fā)交付了超過30種可選回用水工藝技術(shù),包括砂濾及碳濾器反洗水回用、砂濾及碳濾器正沖水回用、反滲透濃縮水回用、EDI和UF濃縮水回用、反滲透沖洗水回用、冷卻塔排放水回用、低濃度有機廢水回用等,已實現(xiàn)水制程回收率達75%-90%,助力企業(yè)降本增效,走上綠色高質(zhì)量發(fā)展之路。
整個半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)的穩(wěn)定有效的運行,還涉及到容器與管道接觸材料,設(shè)備維護和日常管理,自動化控制等環(huán)節(jié)。為此,高頻科技通過合理的終端材料和規(guī)格選擇、系統(tǒng)管路設(shè)計的優(yōu)化,以及應(yīng)用先進的超純水裝置控制系統(tǒng),確保超純水系統(tǒng)和水質(zhì)的穩(wěn)定,為半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)保駕護航。同時研發(fā)創(chuàng)立標準化運維服務(wù)專家模型,為半導(dǎo)體企業(yè)定制包括常規(guī)周期巡檢、可預(yù)見式養(yǎng)護、應(yīng)急故障處理等在內(nèi)的一體化專家運維服務(wù)體系,通過數(shù)字化運維既能讓客戶感到省事和舒心,又能憑借科學(xué)管理實現(xiàn)降本增效。
縱觀產(chǎn)業(yè)歷史,半導(dǎo)體的競爭從來不是企業(yè)的單打獨斗,而是要更加深入地融入到產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈中。高頻科技等本土超純水企業(yè),不斷苦練“內(nèi)功”,深耕超純工藝技術(shù)的研發(fā)與創(chuàng)新,同時通過經(jīng)驗分享和優(yōu)勢互補,提升產(chǎn)業(yè)合作水平,護航“國芯”發(fā)展,助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迎來更廣闊發(fā)展空間。
