不久前,世界三大領(lǐng)先的半導(dǎo)體代工廠臺積電、格芯、三星加入 imec 的可持續(xù)半導(dǎo)體技術(shù)與系統(tǒng) (SSTS) 研究計劃,以幫助減少 IC 價值鏈的生態(tài)影響。此舉也再次證明,降低資源消耗,推進(jìn)可持續(xù)技術(shù)研究,是半導(dǎo)體企業(yè)降本增效,推進(jìn)高質(zhì)量發(fā)展的重要路徑。

水資源是半導(dǎo)體制造中最重要的資源之一,隨著半導(dǎo)體需求增長,半導(dǎo)體行業(yè)使用、處理和管理水資源變得愈加重要。因此,越來越多的企業(yè)開始重視這一課題,并通過與服務(wù)商合作提升半導(dǎo)體用水效能,降低生產(chǎn)成本和資源消耗,朝著更有效率更可持續(xù)的方向邁進(jìn)。高頻科技等具備先進(jìn)超純水工藝和循環(huán)再生解決方案的服務(wù)商,也相應(yīng)地受到半導(dǎo)體企業(yè)的青睞,成為行業(yè)可持續(xù)發(fā)展的賦能者。

加強水資源管理,半導(dǎo)體企業(yè)邁向可持續(xù)制造戰(zhàn)略

對半導(dǎo)體企業(yè)而言,提升良品率,能有效降低原材料浪費,節(jié)約大量成本,有助于推動可持續(xù)發(fā)展。而超純水作為半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的一環(huán),其工藝的先進(jìn)性和穩(wěn)定性直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率,與產(chǎn)品良率及經(jīng)濟(jì)效益密切關(guān)聯(lián)。隨著半導(dǎo)體邁向先進(jìn)制程,對超純水的要求也不斷提高。

提高水資源利用率,同樣有利于節(jié)約成本,并減少對地下水資源的消耗。半導(dǎo)體是用水大戶,而且芯片生產(chǎn)的先進(jìn)制程技術(shù)越進(jìn)步清洗步驟越多,用水量會呈指數(shù)級提升。典型的8吋晶圓的生產(chǎn)制造每片需要消耗約2-4噸水;大于28納米制程的12吋晶圓生產(chǎn)制造每片需要消耗約6-7噸水;當(dāng)制程達(dá)到14-28納米時每片需要消耗約18-20噸水。而晶圓廠的產(chǎn)能,通常是每月數(shù)萬片甚至數(shù)十萬片,耗水量可謂驚人。在這一情況下,半導(dǎo)體企業(yè)開始探索通過提升水資源利用率來降低生產(chǎn)成本。例如,臺積電通過再生水替代措施,做到了一滴水循環(huán)使用 3.5 次。目前其所使用的水源中,85%-90%都是再生水。

立足先進(jìn)超純水工藝,高頻科技服務(wù)半導(dǎo)體企業(yè)降本增效

作為立足于超純工藝能力的工業(yè)級技術(shù)服務(wù)商,高頻科技專注于芯片、顯示等半導(dǎo)體高端制造業(yè)領(lǐng)域,通過提供領(lǐng)先的超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備,助力半導(dǎo)體企業(yè)提升良品率和水資源利用效率,實現(xiàn)高效可持續(xù)發(fā)展。

依托行業(yè)經(jīng)驗、技術(shù)、人才等優(yōu)勢能力,高頻科技不斷探索超純水的絕對純度,已經(jīng)完全掌握了先進(jìn)半導(dǎo)體制程需要的超純水生產(chǎn)全部核心工藝,特別是在PPB級別的TOC,溶解氧去除,以及PPT級別的硼、硅等特殊物質(zhì)的去除方面,已能夠成就水工業(yè)能力99.9999999999%(萬億分之一)的極致體現(xiàn),協(xié)助半導(dǎo)體產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率提升。

為了幫助企業(yè)提升水資源利用率,高頻科技研發(fā)打造的廢水循環(huán)再生系統(tǒng),可以幫助半導(dǎo)體企業(yè)減少廢水量、減少用水量、減少能耗、減少化學(xué)品使用、減少設(shè)備使用損耗,通過保障水制程回收率 (可達(dá) 75% ～ 90%)、保障微量元素回收利用等來實現(xiàn)綠色廠務(wù),滿足降本增效可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。

此外,高頻科技依托公司大批自有優(yōu)秀半導(dǎo)體水系統(tǒng)專家的資深經(jīng)驗,創(chuàng)立標(biāo)準(zhǔn)化運維 專家模型,為半導(dǎo)體工廠量身定制一體化運維服務(wù)體系,滿足客戶全周期運維需求,規(guī)范管理、降本增效。此體系將逐步實現(xiàn)專家數(shù)據(jù)化,通過數(shù)字化運維幫客戶實現(xiàn)省事舒心、內(nèi)部創(chuàng)新的目的。

半導(dǎo)體行業(yè)高度全球化,大量國家/地區(qū)的企業(yè)圍繞成本、良品率、生產(chǎn)效率、經(jīng)濟(jì)效益等多個維度展開競爭。除了自身技術(shù)研發(fā)和創(chuàng)新外,超純水供應(yīng)鏈服務(wù)商的選擇,同樣關(guān)系著企業(yè)能否在以上維度確立競爭優(yōu)勢,實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。高頻科技為代表的本土超純水企業(yè),不斷深耕超純水工藝,滿足日益提升的芯片制造相關(guān)需求,為半導(dǎo)體行業(yè)帶來更高的價值和競爭優(yōu)勢。