隨著市場競爭的加劇和技術(shù)進(jìn)步的不斷推進(jìn),半導(dǎo)體企業(yè)必須持續(xù)創(chuàng)新、不斷降低產(chǎn)品成本,提高產(chǎn)品效率,才能在激烈的市場競爭中立于不敗之地。其中,降本增效已成為半導(dǎo)體企業(yè)生存和發(fā)展的必由之路。

提升良品率和資源利用效率,是半導(dǎo)體企業(yè)降本增效的兩大途徑,而處于半導(dǎo)體上游的超純水制備,可以在以上兩大環(huán)節(jié)深度參與其中。近些年來,包括高頻科技在內(nèi)的頭部超純水企業(yè),一直探索通過先進(jìn)的超純水工藝和循環(huán)再生解決方案,助力半導(dǎo)體企業(yè)降本增效,并取得令人矚目的成果。

超純水先進(jìn)工藝,協(xié)助企業(yè)降本增效

對于一種包含1000道工序的半導(dǎo)體工藝技術(shù)來說,若是每一道工序產(chǎn)品良率為99.9%,則最終的產(chǎn)品良率僅為36.7%。因此,半導(dǎo)體企業(yè)想要實(shí)現(xiàn)降本增效,首先要在單個工序中進(jìn)一步提升產(chǎn)品良率,達(dá)到99.99%甚至99.999%的良率標(biāo)準(zhǔn)。而超純水則是提升良品率的關(guān)鍵之一。上千道芯片制造工藝的過程中有30%都在濕法清洗,都需要用到電阻率為18兆歐以上的超純水。當(dāng)集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質(zhì)的要求也就越高。換言之,越接近18.24兆歐理論極限值的超純水,對芯片清洗的效果越好,也越有利于助推良品率提升,進(jìn)而打下降本增效的基石。

此外,半導(dǎo)體企業(yè)降本增效還需提升水資源利用效率。半導(dǎo)體是用水密集型行業(yè),吸收了27%的工業(yè)用水。而且行業(yè)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表明,芯片生產(chǎn)的先進(jìn)制程技術(shù)越進(jìn)步,清洗步驟越多,用水量會呈指數(shù)級提升。隨著半導(dǎo)體行業(yè)開始進(jìn)入“后摩爾定律時代”,資源利用率已經(jīng)成為制約半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心要素之一。因此,提升半導(dǎo)體用水效能,是半導(dǎo)體企業(yè)降低生產(chǎn)成本,提升競爭力和實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵突破口。

高頻科技立足先進(jìn)超純水工藝及解決方案,賦能降本增效

作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上極為重要的一環(huán),高頻科技始終關(guān)注半導(dǎo)體客戶多方面需求,通過不斷提升超純水水質(zhì)指標(biāo),優(yōu)化水循環(huán)再生解決方案,幫助提升良品率和水資源利用效率,以“雙維度”助力半導(dǎo)體企業(yè)降本增效。

在超純水水質(zhì)指標(biāo)提升方面,高頻科技取得重要成果,超純水雜質(zhì)濃度解決方案有了突破進(jìn)展,特別是在PPB級別的TOC、溶解氧去除,以及PPT級別的硼、硅等特殊物質(zhì)的去除方面。通過過硬的技術(shù)把控力和工程實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),針對有機(jī)物(TOC)、顆粒物、細(xì)菌、金屬和陰離子等影響良率的主要雜質(zhì),已經(jīng)實(shí)現(xiàn)領(lǐng)先于行業(yè)的技術(shù)成果,產(chǎn)水水質(zhì)接近絕對純度,電導(dǎo)率無限接近18.24MΩ?厘米的理論極限值,其純度可達(dá)99.9999999999%,可以有效地避免雜質(zhì)對芯片的影響,保證芯片的質(zhì)量和穩(wěn)定性,從而提升良品率,為半導(dǎo)體客戶塑造強(qiáng)大的經(jīng)濟(jì)效益壁壘。

在提升水資源利用效率方面,高頻科技同樣擁有走在行業(yè)前列的成果和解決方案。依托自有優(yōu)秀半導(dǎo)體水系統(tǒng)專家,高頻科技從覆蓋半導(dǎo)體企業(yè)用水生命周期整體流程統(tǒng)籌規(guī)劃,在確保超純水水質(zhì)純度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的基礎(chǔ)之上,配合多類廢水的收集與處理系統(tǒng),研發(fā)交付了超過30種可選回用水工藝技術(shù),包括砂濾及炭濾器反洗水回用、砂濾及炭濾器正沖水回用、反滲透濃縮水回用、EDI和UF濃縮水回用、反滲透沖洗水回用、冷卻塔排放水回用、低濃度有機(jī)廢水回用、混床再生沖洗水回用、低濃度含氟廢水回用、洗滌塔排放水回用、儀表排放水回用等,積極尋求節(jié)水機(jī)會點(diǎn),并以清洗質(zhì)量、良品率為核心導(dǎo)向,已實(shí)現(xiàn)水制程回收率達(dá)75%-90%,讓每一滴超純水都可以循環(huán)再利用。

同時,高頻科技從覆蓋半導(dǎo)體企業(yè)用水生命周期整體流程統(tǒng)籌規(guī)劃,通過事前規(guī)劃、專家運(yùn)維、綠色水系統(tǒng)創(chuàng)新等維度,協(xié)助半導(dǎo)體企業(yè)打造低本高效、操作便利、維護(hù)簡單、可擴(kuò)充性、理念創(chuàng)新的“綠色廠務(wù)工廠”,助半導(dǎo)體企業(yè)高效可持續(xù)發(fā)展。

降本增效是半導(dǎo)體企業(yè)必須要面對的重要課題。超純水純凈工藝和水循環(huán)設(shè)備及解決方案,是半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)高良品率和水能效的關(guān)鍵因素之一,也是企業(yè)提高競爭力和效益的突破方向。作為立足于超純工藝能力的工業(yè)級技術(shù)服務(wù)商,高頻科技不斷推進(jìn)超純水和水循環(huán)技術(shù)的研發(fā)及創(chuàng)新,以滿足半導(dǎo)體企業(yè)降本增效的需求,為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展做出貢獻(xiàn)。